1.电子束曝光设备(EBL)、紫外光刻设备(UVL)、纳米压印设备
(联系人：董凤良 82545831 82545557 南楼227)
2.电子束蒸发镀膜(EBE)、DC/RF磁控溅射镀膜、ICPECVD沉积镀膜
(联系人：宋志伟 李晓军 82545839 82545641 南楼216）
3.高密度等离子体ICP硅刻蚀机、高密度等离子体ICP金属刻蚀机、反应离子刻蚀机(RIE)、等离子去胶机
（联系人：徐丽华 82545839 82545668 南楼218）
4.RTO/RTP快速合金炉、湿法台(Wet Benches)、热氮烘干机、匀胶机
（联系人：徐丽华 82545839 82545668 南楼218）
5.台阶仪、椭圆偏振仪、光学显微镜、半导体参数测试仪，高分辨场发射扫描电镜(SEM)、划片机、引线焊接机
(联系人：董凤良 82545831 82545557 南楼227）
国家纳米科学中心纳米加工技术实验室收费标准与收费办法（暂行） 
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