国家纳米科学中心纳米加工技术实验室总面积约为1500m2，其中洁净区面积约600m2，而百级区约100m2。实验室拥有多台先进微纳加工设备和有关材料、器件等表征仪器，形成一条较为完备的微纳加工线。作为公共平台，为广大用户开放。   

　　实验室主要功能是针对在物理、化学、生物医学和材料等领域开展纳米研究所需要的各种微纳结构和原型器件进行加工和集成。除传统硅材料外，实验室还具有对尺寸不大于4寸的其它各类衬底材料进行加工的能力，可满足企业4吋片的小批量加工需求。为了加强作为交叉学科研究的纽带和平台的功能，实验室不仅要研究和发展传统加工工艺，而且要开发新型特殊工艺以满足集成工艺和技术的需求，最终满足国家在纳米领域的基础研究和应用基础研究的战略需求。