论文

FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用

论文编号:

作者:

彭开武

刊物名称:

中国材料进展

所属学科:

论文题目英文:

FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用

年:

2013

卷:

32

期:

12

页:

728-734

联系作者:

彭开武

收录类别:

影响因子:

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