科研成果

一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备

专利名称:

一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备

英文名称:

一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备

专利类别:

发明

申请号:

200910080128.2

申请日期:

2009-03-09

授权日期:

2011-12-21

专利号:

ZL200910080128.2

第一发明人:

江潮

其它发明人:

王秋来; 刘双

专利授权日期:

2011-12-21