科研成果

一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备

专利名称: 一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备
英文名称: 一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备
专利类别: 发明
申请号: 200910080128.2
申请日期: 2009-03-09
授权日期: 2011-12-21
专利号: ZL200910080128.2
第一发明人: 江潮
其它发明人: 王秋来; 刘双
专利授权日期: 2011-12-21
   

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