科研成果

一种低频BOSCH深硅刻蚀方法

专利名称:

一种低频BOSCH深硅刻蚀方法

英文名称:

一种低频BOSCH深硅刻蚀方法

专利类别:

发明

申请号:

201410720961.X

申请日期:

2014-12-2

授权日期:

2017-5-17

专利号:

ZL201410720961.X

第一发明人:

徐丽华

其它发明人:

褚卫国

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

2017-5-17

缴费情况:

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注: