科研成果

一种超薄氮化硅膜材料及其制备方法

专利名称:

一种超薄氮化硅膜材料及其制备方法

英文名称:

一种超薄氮化硅膜材料及其制备方法

专利类别:

发明

申请号:

201410353645.3

申请日期:

2014-7-23

授权日期:

2017-1-11

专利号:

ZL201410353645.3

第一发明人:

宋志伟

其它发明人:

褚卫国

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

2017-1-11

缴费情况:

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注: