科研成果

硅基四棱台状微型通孔阵列、其制备方法和应用

专利名称:

硅基四棱台状微型通孔阵列、其制备方法和应用

英文名称:

专利类别:

发明

申请号:

CN201811109995.X

申请日期:

2018-09-21 00:00:00

授权日期:

2022-12-13 00:00:00

专利号:

ZL201811109995.X

第一发明人:

蒋兴宇

其它发明人:

尹佳祥; 张伟

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

2022-12-13 00:00:00

缴费情况:

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注: