科研成果

低品质因子微悬臂探针、其制备方法及显微镜

专利名称:

低品质因子微悬臂探针、其制备方法及显微镜

英文名称:

专利类别:

发明

申请号:

CN202110901520.X

申请日期:

2021-08-06

授权日期:

2023-06-23

专利号:

ZL202110901520.X

第一发明人:

戴庆

其它发明人:

胡德波; 赵九州; 罗成; 吴晨晨

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

2023-06-23

缴费情况:

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注: